什么是晶圆测试?
CP(Chip Probing)指的是晶圆测试。CP测试在整个芯片制作流程中处于晶圆制造和封装之间。晶圆(Wafer)制作完成之后,成千上万的裸片DIE(未封装的芯片)规则的分布满整个Wafer。由于尚未进行划片封装,芯片的管脚全部裸露在外,这些极微小的管脚需要通过更细的探针(Probe)来与测试机台(Tester)连接。
在未进行划片封装的整片Wafer上,通过探针将裸露的芯片与测试机连接,从而进行的芯片测试就是CP测试。
为什么要进行晶圆测试?
Wafer制作完成之后,由于工艺原因引入的各种制造缺陷,分布在Wafer上的裸DIE中会有一定量的残次品。CP测试的目的就是在封装前将这些残次品找出来(Wafer Sort),从而提高出厂的良品率,缩减后续封测的成本。
而且通常在芯片封装时,有些管脚会被封装在内部,导致有些功能无法在封装后进行测试,只能在CP中测试。
另外,有些公司还会根据CP测试的结果,根据性能将芯片分为多个级别,将这些产品投放入不同的市场。
瑞周可以提供的CP服务?
帮助客户选型并提供ATE
根据客户Test Plan中的芯片类型、测试内容、测试规格和成本等因素,选择芯片测试设备,即ATE
(Automatic Test Equipment),包括机台(Tester)、Probe Card和测试软件等部分。
按照侧重的芯片类型和测试内容分,测试机台有很多品牌和产品系列:
例如存储器芯片Advantest T55xx 系列等、数字混合信号或SoC芯片Teradyne J750 系列等,RF射频芯片Credence ASL-3000 系列等。
帮助客户制作Probe Card以及Test Program
根据Wafer中DIE的位置以及芯片各管脚的坐标信息,设计制作探卡,包括探针和芯片外围电路。
在探卡制作完成后,根据不同测试机的测试软件系统,对应的测试程序也有不同的格式。通常工程师提供WGL/STIL/VCD等格式的文件,再转换成测试机需要的文件格式,并增加其他测试程序。
帮助客户进行调试及结果分析
根据TestPlan,Pattern(测试向量)被分作不同的BIN,从而定位测试错误的位置。修改Pattern和测试程序,逐个清理,直到所有BIN都PASS。
最终得到包含良率、测试时间、各BIN的错误数和DIE位置WaferMap文件,数据生成一个datalog,并可根据客户要求输出Mapping文件。工程师通过分析这些数据,决定是否进入量产。
Advantest T5593测试机
探卡